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    Carrier.S100-OB.Z 物镜⾃动对焦扫描台

    • 产品型号：
    • 产品时间：2023-12-26
    • 简要描述：压电 · ⼤范围扫描运动 — Carrier.S100-OB.Z
      室温 ·压电运动⽅案 —“Carrier. 系列“ ⼤⾏程扫描载物台 — 精密光学，半导体表征
    • 产品介绍

    压电 · ⼤范围扫描运动 — Carrier.S100-OB.Z

    室温 ·压电运动⽅案 —“Carrier. 系列“ ⼤⾏程扫描载物台 — 精密光学，半导体表征

    Carrier.S100-OB.Z 物镜⾃动对焦扫描台产品特⾊

    • 两维度XY 扫描运动 200 um × 200 um；

    • 闭环定位精度优于 1nm；

    • 最⼤负载 500 g；

    • 针对光学显微镜-超分辨定制化解决⽅案；

    • ⽀持⽆磁( .NM)和⾼真空( .UHV)选件升级


    Carrier.S100-OB.Z 物镜⾃动对焦扫描台 — 技术参数

    可选版本 ⇨

    正常版本


    .NM     绝对⽆磁版本；

    .HV，     ⾼真空版本 ;

    .UHV ，超⾼真空版本；

    1

    运动⽅向

    Z 轴

    2

    ⾏程

    100 um

    3

    线性度

    0.02%

    4

    摇摆 / 俯仰

    30 urad

    5

    内置传感器

    电容式传感

    6

    传感器噪⾳

    0.3 nm

    7

    Z ⽅向分辨率，开环

    0.1 nm

    8

    稳定时间 (90%位置到达)

    15 ms

    0.4 N/um

    9

    刚性

    10

    共振频率(⽆负载)

    650 Hz

    11

    共振频率( 150 g 负载)

    275 Hz

    12

    整体重量

    270 g

    13

    不锈钢304 ，铝合⾦

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